硅波导 (硅光子学)
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敝公司硅波导制作服务的特征
1.Si细线波导——试制芯片的基本制作实例
在基于硅微细波导的平台上，根据客户的设计实现超微细光电路。
规格示例
| 波导芯径 | 400~500 nm宽x 220 nm厚 |
|---|---|
| 环形谐振腔 | 150纳米或更高 |
| 波导区域 | 5mm×5mm |
| SS转换芯径 | 3μm×3μm |
| SS转换波导间隔 | 50μm以上 |
| 切屑尺寸 | 15mm×5.6mm |
支持无源波导和光学电路
2.低损耗连接:点阵转换器
通过在波导末端附加点大小转换，可以以低损耗连接光纤和激光器。(1.5 [dB/connection] )
将光纤阵列连接到硅芯片的示例
光纤阵列连接结构
3.可选加工实例
- 温控加热器及附加布线
- 高精度控制折射率和控制透射波长。
- 功能材料介绍
- 极化材料等功能材料的引入。
温度控制用极小Ta加热器
- 应用实例
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○光开关、精密波长滤波器
- 客户要求
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○通过局部加热精密控制光学特性
- 解决方案
-
- 通过采用高熔点金属Ta薄膜，实现了不易断裂的加热器
- 通过高精度形状加工，实现极微细加热器
- 低电阻Au布线，仅加热特定区域
石英 (覆层) 上的Ta加热器图案加工例
应用实例
功能材料的导入
可以使用各种功能材料形成覆盖层。
- 应用实例
-
○传感器、调制器
- 客户要求
-
○硅导波路与功能材料混合
- 解决方案
-
- Si波导部分暴露结构的实现
- 组合干法蚀刻和湿法蚀刻，适用于不损伤Si波导的加工
- 实现不形成部分覆盖的过程
