Cermin toroidal EUV
Kami menyediakan cermin toroidal presisi tinggi untuk wilayah EUV, VUV, dan sinar-X lembut.
fitur

Cermin toroidal insiden penggembalaan digunakan dalam sistem eksperimental yang memerlukan pemfokusan harmonik tingkat tinggi broadband, seperti sains attosecond. Cermin toroidal NTT-AT banyak digunakan oleh para peneliti di banyak universitas dan lembaga penelitian karena bentuk dan lapisannya yang beragam yang dapat disesuaikan dengan kebutuhannya.
Cermin toroidal insiden langsung dapat digunakan dalam sistem eksperimental di mana penyimpangan dengan cermin bola menjadi masalah. Tergantung pada kondisi penggunaan Anda, Anda dapat memilih antara pelapis multilayer EUV dengan reflektansi tinggi, broadband, atau pita sempit.
Contoh produksi

Sudut datang miring 3 derajat

Sudut datang miring 2 derajat
コーティング例


Spesifikasi umum
Kami akan merancang bentuk dan lapisan substrat sesuai permintaan Anda.
| Spesifikasi tipikal | |
|---|---|
| Panjang cermin maksimum | 200 mm |
| radius kelengkungan minimum | 10 mm |
| Akurasi bentuk papan | λ/4 PV @633 nm |
| Bahan pelapis multilayer | Mo/Si, Zr/AlSi, SiC/Mg |
| Bahan pelapis satu lapis | Au, Pt, Ru, Ni, B4C, SiC, C |
Silakan Pertanyaan dalam bahasa Inggris.
Silakan Pertanyaan dalam bahasa Inggris untuk penawaran harga atau pertanyaan lainnya.