Pemisah sinar EUV
Kami menyediakan pembagi berkas EUV dengan transmitansi dan pantulan sewenang-wenang.
fitur
Dengan menggunakan pemecah sinar EUV, juga disebut setengah cermin EUV, sinar EUV dapat dipecah menjadi komponen transmisif dan reflektif dengan cara yang sama seperti cahaya tampak dan sinar ultraviolet. Elemen optik multilayer Mo/Si yang berdiri bebas ini digunakan dalam konstruksi interferometer dan sebagai monitor pancaran. Berdasarkan permintaan, kami akan menyesuaikan rasio transmisi/transmisi, sudut insiden, dll. di wilayah panjang gelombang 13,5 nm dan menyediakannya.
設計例
波長13.5 nm, s偏光用ビームスプリッタの反射・透過特性
標準仕様
Kami akan menyesuaikan rasio transmisi/refleksi, sudut insiden, panjang gelombang tengah, dan ukuran sesuai permintaan Anda. Kami juga menawarkannya dipasang di dudukan logam.
| Spesifikasi standar | |
|---|---|
| Bagian pembagi balok | 7 x 7 mm, multilapisan Mo/Si berdiri bebas |
| bagian bingkai | Substrat Si 14 mm x 14 mm, tebal 0,5 mm |
| Sudut kejadian | 45 derajat, 6 derajat |
| panjang gelombang pusat | 13,5 nm |
| Karakteristik refleksi/transmisi | 1:1, pantulan tinggi, transmisi tinggi |
Silakan Pertanyaan dalam bahasa Inggris.
Silakan Pertanyaan dalam bahasa Inggris untuk penawaran harga atau pertanyaan lainnya.