Language
  • 日本語
  • English
  • 简体中文
  • 繁體中文
  • Español
  • Deutsch
  • Français
  • Bahasa Indonesia
Pencarian Situs
  • Rumah

Cermin dikroik EUV

Kami menawarkan cermin dichroic yang memisahkan lampu EUV dari cahaya tampak dan cahaya inframerah-dekat.

fitur

gambar
Cermin dikroik EUV
Untuk memanfaatkan secara efisien lampu EUV yang dihasilkan oleh generasi harmonik orde tinggi, perlu untuk memisahkan lampu pompa intensitas tinggi yang menyebar secara koaksial dengan lampu EUV.
Cermin dichroic EUV NTT-AT memantulkan cahaya broadband EUV dan mencegah pantulan cahaya pompa yang terlihat atau hampir inframerah dengan ambang kerusakan yang tinggi dibandingkan dengan filter film tipis dan pemisah balok sudut Brewster. .
Selain produk standar untuk anti pantulan 800 nm, kami juga menawarkan produk khusus berdasarkan panjang gelombang, ukuran cermin, dan sudut datang yang diinginkan. Kami juga menawarkan produk berlapis dua sisi untuk penggandengan balok.

標準品

grafik
DM20/800-2002のEUV反射プロファイル
grafik
DM30/800-2002の反射プロファイル

Spesifikasi standar produk adalah sebagai berikut.

DM-20/800-2002 DM-30/800-2002
sudut miring 12 derajat
Polarisasi p-terpolarisasi
Anti-refleksi <2% @ 800nm +/- 50nm
pantulan EUV 60% @ 20nm 40% @ 30nm
Jenis substrat
kuarsa
ukuran Diameter 50,8 mm, tebal 5,08 mm
sisi belakang selesai pasir

特注品設計例

grafik
Cermin dichroic untuk panjang gelombang 3 nm (sudut datang miring 3 derajat). Anti-refleksi: <30% @1,5 μm.

ご要望に応じたコーティング設計をいたします。

Spesifikasi khusus yang dibuat khusus
Panjang papan maksimum 300mm
Pita refleksi tinggi
3nm - 120nm
panjang gelombang antirefleksi 400nm, 800nm, 1030nm, 1,5μm
Polarisasi
s-terpolarisasi, p-terpolarisasi
sisi belakang dilapisi, pasir selesai

Silakan Pertanyaan dalam bahasa Inggris.

Silakan Pertanyaan dalam bahasa Inggris untuk penawaran harga atau pertanyaan lainnya.