Cermin dikroik EUV
Kami menawarkan cermin dichroic yang memisahkan lampu EUV dari cahaya tampak dan cahaya inframerah-dekat.
fitur
Untuk memanfaatkan secara efisien lampu EUV yang dihasilkan oleh generasi harmonik orde tinggi, perlu untuk memisahkan lampu pompa intensitas tinggi yang menyebar secara koaksial dengan lampu EUV.
Cermin dichroic EUV NTT-AT memantulkan cahaya broadband EUV dan mencegah pantulan cahaya pompa yang terlihat atau hampir inframerah dengan ambang kerusakan yang tinggi dibandingkan dengan filter film tipis dan pemisah balok sudut Brewster. .
Selain produk standar untuk anti pantulan 800 nm, kami juga menawarkan produk khusus berdasarkan panjang gelombang, ukuran cermin, dan sudut datang yang diinginkan. Kami juga menawarkan produk berlapis dua sisi untuk penggandengan balok.
Cermin dichroic EUV NTT-AT memantulkan cahaya broadband EUV dan mencegah pantulan cahaya pompa yang terlihat atau hampir inframerah dengan ambang kerusakan yang tinggi dibandingkan dengan filter film tipis dan pemisah balok sudut Brewster. .
Selain produk standar untuk anti pantulan 800 nm, kami juga menawarkan produk khusus berdasarkan panjang gelombang, ukuran cermin, dan sudut datang yang diinginkan. Kami juga menawarkan produk berlapis dua sisi untuk penggandengan balok.
標準品
Spesifikasi standar produk adalah sebagai berikut.
| DM-20/800-2002 | DM-30/800-2002 | |
|---|---|---|
| sudut miring | 12 derajat | |
| Polarisasi | p-terpolarisasi | |
| Anti-refleksi | <2% @ 800nm +/- 50nm | |
| pantulan EUV | 60% @ 20nm | 40% @ 30nm |
| Jenis substrat |
kuarsa
|
|
| ukuran | Diameter 50,8 mm, tebal 5,08 mm | |
| sisi belakang | selesai pasir | |
特注品設計例
ご要望に応じたコーティング設計をいたします。
| Spesifikasi khusus yang dibuat khusus | |
|---|---|
| Panjang papan maksimum | 300mm |
|
Pita refleksi tinggi
|
3nm - 120nm |
| panjang gelombang antirefleksi | 400nm, 800nm, 1030nm, 1,5μm |
| Polarisasi |
s-terpolarisasi, p-terpolarisasi
|
| sisi belakang | dilapisi, pasir selesai |
Unduh materi
Silakan Pertanyaan dalam bahasa Inggris.
Silakan Pertanyaan dalam bahasa Inggris untuk penawaran harga atau pertanyaan lainnya.