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Membrana SiC/membrana SiN

Se trata de una membrana de película fina de SiC o SiN que se utiliza como soporte de muestra estándar para análisis de rayos X y análisis de haz de electrones (SEM, TEM).

Se puede personalizar para satisfacer sus necesidades como se muestra a continuación.

  • Formación de película delgada de metal para usar como objetivo de película delgada o divisor de haz.
  • Formación de hendiduras/orificios para uso como elemento formador de vigas.
  • Membrana de espesor inferior a 50 nm (SiN) para uso como elemento de transmisión de rayos X blandos o haces de electrones

Especificaciones estándar del producto

Sic SiN (aislante)
Material Amorfo o policristalino SiN amorfo
espesor 100 nm - 2 μm 50 nm - 2 μm
tamaño de ventana 0,1 mm a 10 mm cuadrados (dependiendo del espesor de la película)
Tamaño de la viruta de corte Cuadrados de 2,1 mm a 20 mm
espesor del marco 0.2 mm - 0.625mm
sustrato Sustrato de Si de 4 pulgadas de diámetro
opción Recubrimiento metálico, formación de hendiduras/orificios

Objetivo

  • Portamuestras para análisis de rayos X, haz de electrones y EUV
  • Material de ventana de celda líquida para análisis químicos y biológicos.
  • ventana de vacío
  • Material de soporte para elemento óptico de rayos X tipo transmisión.

Ejemplo de producción

Membrana SiN
molde para cortar en cubitos
Oblea de membrana SiN