微束宽度测量标尺
- 我们已经可以测量电子束、离子束和 X 射线的精细束尺寸。
- 光束宽度可以以纳米为单位进行测量。
- 提供一维和二维测量。
(b) 透射电子束强度
电子束尺寸的测量示例
K.Kurihara,K.Iwadate,H.Namatsu,
M.Nagase,H.Takenaka and K.Murase,
"An Electron Beam Nanolithography System and its Application to Si Nanofabrication",
Jpn.J.Appl.Phys.,34（1995）6940