Échelle de mesure fine de la largeur du faisceau
- Nous avons rendu possible la mesure des tailles fines des faisceaux d' électrons, des faisceaux d'ions et des rayons X.
- La largeur du faisceau peut être mesurée en nm.
- Pour les mesures 1D et 2Dsont disponibles.
(b) Intensité du faisceau d'électrons transmis
Exemple de mesure de la taille d'un faisceau d'électrons
K.Kurihara,K.Iwadate,H.Namatsu,
M.Nagase,H.Takenaka and K.Murase,
"An Electron Beam Nanolithography System and its Application to Si Nanofabrication",
Jpn.J.Appl.Phys.,34（1995）6940