Échantillon standard pour l'analyse de la direction de la profondeur
Il s'agit d'un échantillon standard de film multicouche utilisé pour l'évaluation de la résolution de la direction de la profondeur, la mesure de la distance et l'évaluation de la sensibilité telles que les analyses SIMS, AES, XPS et XRF.
Nous vous fournirons un échantillon standard de la combinaison de matériaux souhaitée, de l'épaisseur du film et du nombre de couches.
作製例
Échantillon de film multicouche Si/BN
- Il s'agit d'un échantillon de film stratifié utilisé pour l'analyse de la direction de la profondeur telle que l'analyse SIMS.
- En plus des échantillons de films multicouches périodiques, nous traitons également des échantillons de films multicouches non périodiques.
- Il est également possible de former une couche de BN ultra-mince (~0,01 nm).
Échantillon de film multicouche Si/Mo
Divers échantillons laminés
- Nous pouvons traiter des films laminés de divers matériaux.
- La figure ci-dessous est un exemple d'échantillon dans lequel quatre types de matériaux différents sont laminés.
Exemple d'évaluation de structure en coupe et schéma de principe par TEM