Échelle de mesure de longueur
- Idéal pour l'étalonnage de la longueur et de l'angle des microscopes à sonde à balayage, etc. Essentiel pour l'évaluation fine du motif
- Petit prix et délai de livraison court
※ ピッチ100nm以下の極微細パタンについても特注で対応いたします。
特徴・仕様
| Type vertical (AS100P-D) | Type incliné (AS200P-A) | |
|---|---|---|
| Usage | Étalonnage de la longueur, évaluation de la forme de la sonde | calibrage d'angle |
| caractéristique |
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| angle d'inclinaison | 90 degrés | 54,74 degrés |
| Type de motif | 1:1 L&S (concave en dehors de la zone du motif) | 400 nm L&S Grille de 400 nm 200 nm L&S 100 nmL&S ou plus 4 types |
| Largeur de ligne (convexe) | 50～250 nm | 100～400 nm |
| profondeur du motif | 125 nm±20％ | 100-200 nm (prêt à l'emploi) |
| zone de motif | 200μm × 200μm | 184μm × 184μm × 4 (graine) |
| substrat | Si 10mm×10mm×0.525mmt | Si 10mm×10mm×0.525mmt |
*低価格・短納期で提供いたします。お気軽にお問合せ下さい。
垂直タイプ（AS100P-D）
傾斜タイプ（AS200P-A）
Image d'observation AFM(unité : direction horizontale : μm, direction verticale : nm)
特注品の例
TEM観察像
