Diagrama de rayos X | Óptica EUV, Óptica de rayos X | NTT‑AT Información sobre productos clave de tecnología de vanguardia NTT-AT

rasgo

Imagen de microscopio de rayos X — Imagen SEM del gráfico de rayos X

La microscopía de rayos X se aplica como método de obtención de imágenes de alta resolución en diversos campos, pero para la evaluación se requieren gráficos con una resolución suficientemente alta. Los gráficos de rayos X de NTT-AT, que tienen patrones absorbentes de tantalio (Ta) de alta definición formados en membranas de SiC y SiN, se utilizan para la evaluación de la resolución en instalaciones de radiación sincrotrón en todo el mundo.
Dependiendo de su aplicación, puede elegir entre tres tipos: tipo estándar, tipo de película gruesa de alta resolución y tipo de resolución ultra alta. También ofrecemos cartas reflectantes para la región EUV.

Especificaciones estándar del producto

artículo		Tipo estándar XRESO-100	Tipo de alta resolución de película gruesa XRESO-50HC	Tipo de súper alta resolución XRESO-20
patrón	Amortiguador	Ta, 1,0 µm de espesor	Ta, 500 nm de espesor	Ta, 100 nm de espesor
	dimensión mínima	100nm	50 nm	20 nm (patrón radial)
	área de patrón	250 µm×350 µm	300 µm×300 µm
membrana		Ru (20 nm)/SiN (2 µm)	Ru (20 nm)/SiC (200 nm)/SiN (50 nm)
sustrato	Material/forma exterior	Si, 10 mm×10 mm
sustrato	Espesor	1 mm	0.625 mm