Guía de ondas de silicio (fotónica de silicio)
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Características de nuestro servicio de fabricación de guías de ondas de silicio
Fabricación de guías de ondas de silicio basadas en diseños del cliente.
Realizamos circuitos ópticos ultrafinos basados en diseños del cliente en una plataforma basada en guías de ondas de hilo de Si, respaldadas por tecnología de procesamiento avanzada.
*Prepare un dibujo de diseño (formato GDSⅡ o formato dxf).
Logra conexiones de baja pérdida entre guías de ondas de silicio y matrices de fibra óptica
La inclusión de un convertidor de tamaño de punto permite una conexión de baja pérdida con fibras ópticas, lo que permite a los clientes realizar evaluaciones altamente precisas.
Capaz de satisfacer diversas necesidades de diseño.
Ofrecemos opciones para satisfacer una variedad de necesidades de los clientes, incluido el control preciso de las propiedades ópticas y la combinación con diferentes materiales como polímeros.
Soporte continuo de la fabricación de guías de ondas de silicio → evaluación de características → montaje de fibra óptica
Podemos gestionar sin problemas no sólo la fabricación de guías de ondas de silicio, sino también la evaluación de las propiedades ópticas y el montaje de fibras ópticas en chips según las solicitudes de los clientes.
1. Si細線導波路 -基本的な試作チップ製作例-
Realizamos circuitos ópticos ultrafinos basados en diseños de clientes en plataformas basadas en guías de ondas de alambre de Si.
Ejemplo de especificación
| Diámetro del núcleo de la guía de ondas | 400-500nm ancho x 220nm espesor |
|---|---|
| hueco del resonador de anillo | 150 nm o más |
| región de la guía de ondas | 5 mm x 5 mm |
| Diámetro del núcleo de conversión SS | 3 μm × 3 μm |
| Espaciado de la guía de ondas del convertidor SS | 50 μm o más |
| Tamaño de corte de viruta | 15 mm x 5,6 mm |
パッシブ導波路・光回路に対応
2. 低損失接続： スポットサイズ変換器
Al agregar conversión de tamaño de punto al final de la guía de ondas, se puede conectar a una fibra óptica o láser con baja pérdida. (1,5[dB/conexión])
Un ejemplo de conexión de una matriz de fibra óptica a un chip de Si
Estructura de conexión de matriz de fibra
3. Ejemplos de procesamiento opcional
- Calefactor para control de temperatura y cableado adicional
- Controla la longitud de onda de transmisión controlando el índice de refracción con alta precisión.
- Introducción de materiales funcionales.
- Introducción de materiales funcionales como los materiales polarizados.
Calentador Ta ultrapequeño para control de temperatura
- Ejemplo de aplicación
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Interruptores ópticos, filtros de longitud de onda de precisión
- Requisitos del cliente
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○Control preciso de las propiedades ópticas mediante calentamiento local
- solución
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- Utilizando una fina película de Ta, un metal con un alto punto de fusión, hemos conseguido un calentador difícil de romper.
- El moldeado de alta precisión permite calentadores ultrafinos
- El cableado de Au de baja resistencia permite calentar solo áreas específicas
Ejemplo de procesamiento del patrón del calentador Ta sobre cuarzo (revestido)
Ejemplo de aplicación
Introducción de materiales funcionales
El revestimiento se puede realizar utilizando una variedad de materiales funcionales.
- Ejemplo de aplicación
-
Sensores, moduladores
- Requisitos del cliente
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Hibridación de guías de ondas de Si y materiales funcionales
- solución
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- Realización de una estructura de guía de ondas de Si parcialmente expuesta
- Se utiliza una combinación de grabado seco y grabado húmedo para evitar daños en la guía de ondas de Si.
- Realización de un proceso que no forma parcialmente un revestimiento.
