Pemandu gelombang silikon (fotonik silikon)
Layanan pengecoran yang mendukung penelitian dan pengembangan mutakhir
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弊社シリコン導波路作製サービスの特徴
Pembuatan pandu gelombang silikon berdasarkan desain pelanggan
高度加工技術に支えられたSi細線導波路ベースのプラットフォーム上にお客様の設計に基づいた極微細光回路を実現します。
※ 設計図（ GDSⅡ形式 もしくは dxf 形式）をご用意ください。
Mencapai koneksi low-loss antara pandu gelombang silikon dan susunan serat optik
スポットサイズ変換器の搭載により光ファイバなどと低損失での接続が可能となり、お客様の高精度評価を実現します。
Mampu memenuhi berbagai kebutuhan desain
光学特性の精密制御、ポリマー等の異種材料との複合のなどお客様の多様なニーズにオプションにて対応します。
Dukungan mulus dari fabrikasi pandu gelombang silikon → evaluasi karakteristik → pemasangan serat optik
シリコン導波路の作製のみならず、お客さま要望に基づき光学特性の評価そしてチップへの光ファイバ付け実装まで、シームレスな対応が可能です。
1. Si細線導波路 -基本的な試作チップ製作例-
Kami mewujudkan sirkuit optik ultrafine berdasarkan desain pelanggan pada platform berbasis pandu gelombang kawat Si.
仕様例
| Diameter inti pemandu gelombang | Lebar 400-500nm x ketebalan 220nm |
|---|---|
| celah resonator cincin | 150nm atau lebih |
| wilayah pemandu gelombang | 5mm x 5mm |
| Diameter inti konversi SS | 3μm×3μm |
| Jarak pandu gelombang konverter SS | 50 m atau lebih |
| Ukuran pemotongan chip: | 15mm x 5.6mm |
パッシブ導波路・光回路に対応
2. 低損失接続： スポットサイズ変換器
Dengan menambahkan konversi ukuran titik ke ujung pandu gelombang, dapat dihubungkan ke serat optik atau laser dengan kerugian rendah. (1,5[dB/koneksi])
光ファイバアレイをSiチップに接続した例
ファイバアレイの接続構造
3. オプション加工例
- Pemanas untuk kontrol suhu dan kabel tambahan
- Mengontrol panjang gelombang transmisi dengan mengontrol indeks bias dengan presisi tinggi.
- Pengenalan bahan fungsional
- Pengenalan bahan fungsional seperti bahan terpolarisasi.
温度制御用極小Taヒーター
- Contoh aplikasi
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○光スイッチ、精密波長フィルタ
- お客様要求
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○局所加熱による光学特性の精密制御
- 解決策
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- 高融点金属のTa薄膜にすることで、切れにくいヒータを実現
- 高精度形状加工により、極微細ヒータを実現
- 低抵抗Au配線による引き回しで、特定部分のみの加熱を実現
石英（オーバークラッド）上のTaヒータパタン加工例
Contoh aplikasi
機能材料の導入
種々の機能材料を用いて、オーバークラッドが形成できます。
- Contoh aplikasi
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○センサ、変調器
- お客様要求
-
○Si導波路と機能材料をハイブリッド化
- 解決策
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- Si導波路の部分露出構造の実現
- ドライエッチング及びウェットエッチングを組み合わせてSi導波路にダメージを与えない加工を適用
- 部分的にオーバークラッドを形成しないプロセスの実現
