Skala Pengukuran | Analisis Produk Terkait | Situs Pengenalan Produk Teknologi Canggih NTT-AT

Ideal untuk kalibrasi panjang dan sudut mikroskop probe pemindaian, dll. penting untuk evaluasi pola yang baik
Harga murah dan waktu pengiriman yang singkat

※ ピッチ100nm以下の極微細パタンについても特注で対応いたします。

	Tipe vertikal (AS100P-D)	Tipe miring (AS200P-A)
Penggunaan	Kalibrasi panjang, evaluasi bentuk probe	kalibrasi sudut
fitur	Karena etsa anisotropik digunakan pada substrat Si(110), bentuk polanya vertikal dan akurat. Pengukuran bentuk probe yang akurat dimungkinkan karena tingkat ortogonalitas yang tinggi	Karena etsa anisotropik digunakan pada substrat Si (100), sudut kemiringan pola akurat pada 54,7 derajat. Sudut kemiringan akurat 54,7 derajat, ideal untuk konfirmasi reproduktifitas peralatan
sudut kemiringan	90 derajat	54,74 derajat
Tipe pola	1:1 L&S (cekung di luar area pola)	400 nm L&S jaringan 400nm 200 nm L&S 100 nmL&S atau lebih 4 jenis
Lebar garis (cembung)	50～250 nm	100～400 nm
kedalaman pola	125 nm±20％	100-200 nm (sudah tersedia)
daerah pola	200μm×200μm	184μm×184μm×4 (biji)
substrat	Si 10mm×10mm×0.525mmt	Si 10mm×10mm×0.525mmt