Guide d'ondes en silicium (photonique au silicium)
Des services de fonderie qui soutiennent la recherche et le développement de pointe
Valorisez votre recherche et développement et concrétisez vos idées ! !
弊社シリコン導波路作製サービスの特徴
Fabrication de guides d'ondes en silicium sur la base des conceptions des clients
高度加工技術に支えられたSi細線導波路ベースのプラットフォーム上にお客様の設計に基づいた極微細光回路を実現します。
※ 設計図（ GDSⅡ形式 もしくは dxf 形式）をご用意ください。
Réalise des connexions à faible perte entre les guides d'ondes en silicium et les réseaux de fibres optiques
スポットサイズ変換器の搭載により光ファイバなどと低損失での接続が可能となり、お客様の高精度評価を実現します。
Capable de répondre à divers besoins de conception
光学特性の精密制御、ポリマー等の異種材料との複合のなどお客様の多様なニーズにオプションにて対応します。
Prise en charge transparente de la fabrication de guides d'ondes en silicium → évaluation des caractéristiques → montage de la fibre optique
シリコン導波路の作製のみならず、お客さま要望に基づき光学特性の評価そしてチップへの光ファイバ付け実装まで、シームレスな対応が可能です。
1. Si細線導波路 -基本的な試作チップ製作例-
Nous réalisons des circuits optiques ultrafins basés sur les conceptions des clients sur des plates-formes basées sur des guides d'ondes à fil Si.
仕様例
| Diamètre du noyau du guide d'ondes | 400-500nm de largeur x 220nm d'épaisseur |
|---|---|
| entrefer du résonateur en anneau | 150 nm ou plus |
| région de guide d'ondes | 5 mm x 5 mm |
| Diamètre du noyau de conversion SS | 3μm × 3μm |
| Espacement des guides d'ondes du convertisseur SS | 50 μm ou plus |
| Taille de coupe de puce | 15 mm x 5,6 mm |
パッシブ導波路・光回路に対応
2. 低損失接続： スポットサイズ変換器
En ajoutant une conversion de taille de point à l'extrémité du guide d'ondes, il peut être connecté à une fibre optique ou à un laser à faible perte. (1,5[dB/connexion])
光ファイバアレイをSiチップに接続した例
ファイバアレイの接続構造
3. オプション加工例
- Chauffage pour le contrôle de la température et câblage supplémentaire
- Contrôle la longueur d'onde de transmission en contrôlant l'indice de réfraction avec une grande précision.
- Introduction de matériaux fonctionnels
- Introduction de matériaux fonctionnels tels que les matériaux polarisés.
温度制御用極小Taヒーター
- Exemple d'application
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○光スイッチ、精密波長フィルタ
- お客様要求
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○局所加熱による光学特性の精密制御
- 解決策
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- 高融点金属のTa薄膜にすることで、切れにくいヒータを実現
- 高精度形状加工により、極微細ヒータを実現
- 低抵抗Au配線による引き回しで、特定部分のみの加熱を実現
石英（オーバークラッド）上のTaヒータパタン加工例
Exemple d'application
機能材料の導入
種々の機能材料を用いて、オーバークラッドが形成できます。
- Exemple d'application
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○センサ、変調器
- お客様要求
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○Si導波路と機能材料をハイブリッド化
- 解決策
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- Si導波路の部分露出構造の実現
- ドライエッチング及びウェットエッチングを組み合わせてSi導波路にダメージを与えない加工を適用
- 部分的にオーバークラッドを形成しないプロセスの実現
