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Guide d'ondes en silicium (photonique au silicium)

Des services de fonderie qui soutiennent la recherche et le développement de pointe

Valorisez votre recherche et développement et concrétisez vos idées ! !

Caractéristiques de notre service de fabrication de guides d'ondes en silicium

Fabrication de guides d'ondes en silicium sur la base des conceptions des clients

Nous réalisons des circuits optiques ultrafins basés sur les conceptions des clients sur une plateforme basée sur des guides d'ondes en fil de silicium, soutenue par une technologie de traitement avancée.
*Veuillez préparer un dessin technique (format GDSⅡ ou format dxf).

Réalise des connexions à faible perte entre les guides d'ondes en silicium et les réseaux de fibres optiques

L'intégration d' un convertisseur de taille de spot permet une connexion à faible perte avec les fibres optiques, permettant ainsi aux clients d'effectuer des évaluations très précises.

Capable de répondre à divers besoins de conception

Nous proposons des options pour répondre à divers besoins de nos clients, notamment un contrôle précis des propriétés optiques et la possibilité de les combiner avec différents matériaux tels que les polymères.

Prise en charge transparente de la fabrication de guides d'ondes en silicium → évaluation des caractéristiques → montage de la fibre optique

Nous pouvons gérer sans problème non seulement la fabrication de guides d'ondes en silicium, mais aussi l'évaluation des propriétés optiques et le montage de fibres optiques sur des puces en fonction des demandes des clients.

1. Si細線導波路 -基本的な試作チップ製作例-

Nous réalisons des circuits optiques ultrafins basés sur les conceptions des clients sur des plates-formes basées sur des guides d'ondes à fil Si.

Exemple de production de puces prototypes d'un circuit de guide d'ondes en silicium de base

Exemple de spécification

Diamètre du noyau du guide d'ondes 400-500nm de largeur x 220nm d'épaisseur
entrefer du résonateur en anneau 150 nm ou plus
région de guide d'ondes 5 mm x 5 mm
Diamètre du noyau de conversion SS 3μm × 3μm
Espacement des guides d'ondes du convertisseur SS 50 μm ou plus
Taille de coupe de puce 15 mm x 5,6 mm

パッシブ導波路・光回路に対応

2. 低損失接続: スポットサイズ変換器

En ajoutant une conversion de taille de point à l'extrémité du guide d'ondes, il peut être connecté à une fibre optique ou à un laser à faible perte. (1,5[dB/connexion])

convertisseur de taille de spot
Structure du Conventer Spot-Size (SSC)

Exemple de connexion d'un réseau de fibres optiques à une puce en silicium

Exemple de connexion d'un réseau de fibres optiques à une puce de silicium
Exemple de connexion d'un réseau de fibres optiques à une puce Si

structure de connexion du réseau de fibres

Structure de connexion du réseau de fibres
Structure de connexion du réseau de fibres

3. Exemples de traitement optionnel

Chauffage pour le contrôle de la température et câblage supplémentaire
Contrôle la longueur d'onde de transmission en contrôlant l'indice de réfraction avec une grande précision.
Introduction de matériaux fonctionnels
Introduction de matériaux fonctionnels tels que les matériaux polarisés.

Chauffage Ta ultra-compact pour le contrôle de la température

Exemple d'application

Commutateurs optiques, filtres de longueur d'onde de précision

exigences du client

○Contrôle précis des propriétés optiques par chauffage local

solution
  1. En utilisant une fine couche de Ta, un métal à point de fusion élevé, nous avons obtenu un élément chauffant difficile à casser.
  2. Le façonnage de haute précision permet de réaliser des éléments chauffants ultra-fins.
  3. Le câblage en or à faible résistance permet de chauffer uniquement des zones spécifiques.

Exemple de traitement de motif de chauffage au tantale sur quartz (surplaqué)

Vue en coupe du micro-chauffage
Vue en coupe du micro-chauffage
Exemple de traitement de modèle de chauffage Ta sur quartz (sur revêtement)
Modèle de chauffage Ta (exemple de traitement)
Image SEM
Image MEB : modèle de chauffage Ta (Fig. 1)

Exemple d'application

Exemple d'application
Exemple d'application

Introduction de matériaux fonctionnels

Le revêtement peut être réalisé à partir de divers matériaux fonctionnels.

Exemple d'application

Capteurs, modulateurs

exigences du client

Hybridation de guides d'ondes en silicium et de matériaux fonctionnels

solution
  1. Réalisation d'une structure de guide d'ondes en silicium partiellement exposée
  2. On utilise une combinaison de gravure sèche et de gravure humide pour éviter d'endommager le guide d'ondes en silicium.
  3. Réalisation d'un processus qui ne forme pas partiellement de revêtement
Vue en coupe du micro-chauffage
Traitement de l'image

Consultation

consultation sur les guides d'ondes en silicium