Membrane SiC/membrane SiN
Il s'agit d'une membrane à couche mince de SiC ou de SiN utilisée comme porte-échantillon standard pour l'analyse aux rayons X et l'analyse par faisceau d'électrons (SEM, TEM).
Il peut être personnalisé en fonction de vos besoins, comme indiqué ci-dessous.
- Formation de film mince métallique à utiliser comme cible de film mince ou séparateur de faisceau.
- Formation de fente/trou d'épingle à utiliser comme élément de mise en forme de faisceau.
- Membrane (SiN) d'une épaisseur inférieure à 50 nm à utiliser comme élément de transmission de rayons X mous ou de faisceaux d'électrons
Spécifications standard du produit
| SiC | SiN (isolant) | |
|---|---|---|
| Matériel | Amorphe ou polycristallin | SiN amorphe |
| épaisseur | 100 nm - 2 μm | 50 nm - 2 μm |
| la taille de la fenêtre | Carré de 0,1 mm à 10 mm (selon l'épaisseur du film) | |
| Taille des copeaux de coupe | 2.1 mm - 20 mm 角 | |
| épaisseur du cadre | 0.2 mm - 0.625mm | |
| substrat | Substrat Si de diamètre 4 pouces | |
| option | Revêtement métallique, formation de fentes/trous | |
But
- Porte-échantillon pour l'analyse par rayons X, par faisceau d'électrons et EUV
- Matériau de fenêtre pour cellules liquides pour analyses chimiques et biologiques
- fenêtre à vide
- Matériau de support pour élément optique à rayons X de type transmission
Exemple de production
moule à découper
