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光波導形成樹脂

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因為是紫外線硬化樹脂,所以可以用各種方法制作波導。

  • 直接曝光法
  • RIE方法
  • 模壓法

特征

  • 折射率0.001單位
  • 優異的透光性
  • 粘度可調,旋塗時膜厚可控性好
  • 折射率可控制在1.43~1.62的範圍內,精度可達±0.005

【應用實例】 光波導的包層

平坦性、折射率整合性好,有焊料耐熱等級,也適用於層間絕緣膜。

直接曝光法制作波導的實例
直接曝光法制作波導的實例
多段の導波路の作製例
多級波導的製作示例
(環氧樹脂用於包層/MM波導芯)
因為平坦性很好,所以也適合制作多段波導。

規格

芯/覆層材料組合 (*1)

主成分 折射率830 nm 特征
環氧係
核心:1.53±0.005
包層:1.51±0.005
芯:粘度=2,200mPas Tg=222℃
Δn=1.3% (@830nm)
包層:粘度=2,900mPas Tg=200℃

*1 ...含有“醫藥用外劇物”的產品(關於操作,請參照SDS。)

折射率調整類型

主成分 折射率調整範圍 特征
環氧係 nD=1.43~1.62 可調粘度
(旋塗膜厚容易控制。)

表中的特性值是樣品測量值,不是保證值。

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