因為是紫外線硬化樹脂,所以可以用各種方法制作波導。
- 直接曝光法
- RIE方法
- 模壓法
特征
- 折射率0.001單位
- 優異的透光性
- 粘度可調,旋塗時膜厚可控性好
- 折射率可控制在1.43~1.62的範圍內,精度可達±0.005
【應用實例】 光波導的包層
平坦性、折射率整合性好,有焊料耐熱等級,也適用於層間絕緣膜。

直接曝光法制作波導的實例

多級波導的製作示例
(環氧樹脂用於包層/MM波導芯)
(環氧樹脂用於包層/MM波導芯)
因為平坦性很好,所以也適合制作多段波導。
規格
芯/覆層材料組合 (*1)
| 主成分 | 折射率830 nm | 特征 | 
|---|---|---|
| 環氧係 | 核心:1.53±0.005 包層:1.51±0.005 | 芯:粘度=2,200mPas Tg=222℃ Δn=1.3% (@830nm) 包層:粘度=2,900mPas Tg=200℃ | 
*1 ...含有“醫藥用外劇物”的產品(關於操作,請參照SDS。)
折射率調整類型
| 主成分 | 折射率調整範圍 | 特征 | 
|---|---|---|
| 環氧係 | nD=1.43~1.62 | 可調粘度 (旋塗膜厚容易控制。) | 
表中的特性值是樣品測量值,不是保證值。
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