納米壓印用模具目錄產品
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- 壓印應用研究開發時的試用
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※根據訂貨時期等,交貨期會有變化。詳情請咨詢。
納米壓印用模具型錄產品規格
規格
| 型番 (最小パタンサイズ) |
外形尺寸 材料 |
模式類型、陣列 | パタ-ン深さ |
|---|---|---|---|
| NIM-PHL45 (45 納米) |
10mm見方 厚度:1mm 材質:石英 |
・線(凹)、多層次圖案 ・線寬:45、60、80、100nm 4級。 (每個圖案區域寬度150μm) ・佔空比:1:1、1:5 ・區域尺寸:750μm×3mm×2級 (虛擬圖案面積7mm見方) |
100nm |
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| NIM-PHL80 (80納米) |
10mm見方 厚度:0.6mm 材質:石英 |
・線(凹)、多層次圖案 ・線寬:80nm~3μm共11級*1.. ・佔空比:1:1、1:2、1:3、1:10 ・面積:約9mm見方 |
200nm |
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| NIM-PHH100 (100納米) |
10mm見方 厚度:0.6mm 材質:石英 |
・孔(凹)、多層次花紋 ・線寬:從 80nm 到 3μm 9 級*2.. ・佔空比:1:1、1:2、1:3 ・面積:約9mm見方 |
200nm |
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| NIM-PH350 (350nm) |
10mm見方 厚度:0.6mm 材質:石英 |
・線&空間、洞孔、點混合、多層次圖案 ・線寬:350nm~10μm,10級。 ・網點直徑:500nm~10μm,8級。 ・孔徑:500nm~10μm,8級。 ・佔空比:1:1、1:2、1:5 ・面積:約9mm見方 |
350nm |
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※1:NIM-PHL80 11電平80, 90,100,120,150,200,300,500,800, 1000, 3000nm
※2:NIM-PHH100 9電平100,120,150,200,300,500,800, 1000, 3000nm
形狀陣列、模具截面示例


目錄
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