微束寬度測量標尺
- 我們已經可以測量電子束、離子束和 X 射線的精細束尺寸。
- 光束寬度可以以納米為單位進行測量。
- 提供一維和二維測量。
(b) 透射電子束強度
電子束尺寸的測量示例
K.Kurihara,K.Iwadate,H.Namatsu,
M.Nagase,H.Takenaka and K.Murase,
"An Electron Beam Nanolithography System and its Application to Si Nanofabrication",
Jpn.J.Appl.Phys.,34（1995）6940