測長尺
- 最適合微細模式評價中不可缺少的掃描探針顯微鏡等的長度和角度的校正
- 低價格，短交貨期
※ ピッチ100nm以下の極微細パタンについても特注で対応いたします。
特徴・仕様
| 垂直類型 (AS 100P-D) | 傾斜型 (AS 200P-A) | |
|---|---|---|
| 用途 | 長度校準、探針形狀評估 | 角度校正 |
| 特征 |
|
|
| 傾斜角 | 90度 | 54.74度 |
| 類型 | 1:1 L&S（凹出圖案區域） | 400 納米 L&S 400 納米粒度 200 納米 L&S 100 nmL&S 以上 4 種 |
| 線 (凸面) 寬度 | 50～250 nm | 100～400 nm |
| 模式深度 | 125 nm±20％ | 100~200 nm (工藝) |
| 模式區域 | 200μm×200μm | 184μm×184μm×4 (種) |
| 基板 | Si 10mm×10mm×0.525mmt | Si 10mm×10mm×0.525mmt |
*低価格・短納期で提供いたします。お気軽にお問合せ下さい。
垂直タイプ（AS100P-D）
傾斜タイプ（AS200P-A）
AFM觀察圖像（單位：水平方向：μm，垂直方向：nm）
特注品の例
TEM観察像
